『반도체 배선 공정을 위한 박막 증착 공정 특강』

1. 특강 강연자 : UNIST 반도체공학과 김수현 교수 

(現 UNIST 반도체 소재부품 대학원 및 신소재공학과 교수, 前 영남대학교 신소재공학부 교수, 前 SK 하이닉스 선임 연구원) 

2. 특강 시간 및 장소 : 2024. 04. 30. (화) 15:00 ~ 16:15

※ 14시 50분까지 착석 부탁드립니다.

※ 특강 유인물 제공됩니다. 필기구(펜, 샤프) 챙기시길 바랍니다.

※ 커피와 쿠키 제공됩니다.

3. 특강 내용

   1) 주제 : 반도체 배선 공정을 위한 박막 증착 공정 특강

   2) 내용 

      - 반도체 배선 공정 개략 및 기초

      - 반도체 증착 공정 (Sputtering, CVD, ALD, EP) 

      - Cu 배선 공정

      - 질의응답

4. 신청방법 : 교내 유토피아 시스템 참조(https://yutopia.yu.ac.kr/ko/program/1/view/609)

김수현 교수님께서 영남대학교 학부생 눈높이에 맞춰서 특강을 진행해주십니다. 

배선 공정과 박막 증착 공정의 기초부터 현업에서 쓰이는 심화된 내용까지 특강해주십니다. 많은 참여 부탁합니다.